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尽管普遍认为亚稳态TiAlN的相形成受动力学因素控制，市场但目前的相关理论计算仅基于能量考虑，市场没有结合热力学和动力学因素的理论模型，用于预测亚稳态TiAlN中的Al固溶度极限。图11：总量增Al临界固溶度对比将热力学模型，DFT计算和实验值，与该模型得到的Ti1-xAlxN的Al临界固溶度进行对比。

【小结】基于组合磁控溅射实验，同比CALPHAD热力学模型和第一性原理计算，提出了一种考虑动力学效应的TiAlN薄膜亚稳相形成模型。该模型预测的xmax范围0.42-0.50，年中是之前基于能量的理论模型所无法得到的。